KAJIAN PENGUKURAN KETEBALAN LAPISAN TIPIS BERBASIS INTERFEROMETRIK

RASANJANI, DODI (2009) KAJIAN PENGUKURAN KETEBALAN LAPISAN TIPIS BERBASIS INTERFEROMETRIK. Masters thesis, Universitas Sebelas Maret Surakarta.

[img] PDF - Published Version
Download (1314Kb)

    Abstract

    Salah satu sifat penting untuk diketahui dari suatu lapisan tipis adalah ketebalan dari lapisan tersebut. Hasil penelitian ini melaporkan suatu metode dan konstruksi dari suatu sistem optik menggunakan dasar Interferometer Michelson, yang memungkinkan dapat diaplikasikan untuk menentukan ketebalan dari suatu lapisan tipis setelah ditumbuhkan diatas sebuah substrat kaca dan alumunium. Suatu teknik pengukuran berbasis pada perbandingan dari dua pola interferensi yang dihasilkan oleh sinar laser dengan panjang gelombang 632.8 nm. Perbandingan antara dua pola dari interferensi yang dibentuk oleh substrat dengan dan tanpa lapisan diambil ke dalam satu perhitungan untuk mengukur ketebalan dari lapisan tipis. Metode yang telah dilakukan ini dapat mengukur ketebalan lapisan tipis dalam rentang (90-218) nm. Kata Kunci : Interferensi, beda lintasan optis, perubahan fase, interfrensi pada lapisan tipis,

    Item Type: Thesis (Masters)
    Subjects: Q Science > QC Physics
    Divisions: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam > Fisika
    Depositing User: muhammad majaduddin
    Date Deposited: 24 Jul 2013 05:55
    Last Modified: 24 Jul 2013 05:55
    URI: https://eprints.uns.ac.id/id/eprint/8759

    Actions (login required)

    View Item