Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Titanat (BaTiO3) Doping Strontium dan Zirconium dengan Metode Chemical Solution Deposition (CSD) sebagai Material Feroelektrik

MAHMUDAH, HERLIN DIEN (2017) Penumbuhan Lapisan Tipis Barium Titanat (BaTiO3) Doping Strontium dan Zirconium dengan Metode Chemical Solution Deposition (CSD) sebagai Material Feroelektrik. Masters thesis, Universitas Sebelas Maret.

[img] PDF - Published Version
Download (600Kb)

    Abstract

    Lapisan Tipis Barium Titanat (BaTiO3) telahdibuat menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) di atas substrat Pt/Si dengan memakai spin coater. Variasi % mol doping Sr dan Zr yaitu sebesar 1%, 2%, 3%, 4% dan 5%. Lapisan tipis BST dan BZT dikarakterisasi menggunakan X-Ray Difraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM) serta pengujian kurva histerisis menggunakan metode sawyer tower. Sudut difraksi (2θ) pada kurva XRD bergeser ke kanan (semakin besar) seiring dengan bertambahnya % mol doping Sr dan bergeser ke kiri (semakin besar) seiring dengan bertambahnya % mol doping Zr. Parameter kisi BST dan BZT menggunakan penghalusan program GSAS menunjukkan bahwa lapisan tipis BST dan BZT mempunyai struktur tetragonal. Dari analisa SEM, seiring dengan bertambahnya variasi % mol doping Sr dan Zr tidak mempengaruhi ketebalan, tetapi mempengaruhi ukuran butir lapisan tipis. Lapisan tipis BST dan BZT merupakan bahan feroelektrik dimana telah terbentuk kurva histerisis. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa lapisan tipis BST dan BZT telah terdeposisi di atas substrat Pt/Si. Kata Kunci : BT, BST, BZT,CSD, XRD, SEM, sawyer tower

    Item Type: Thesis (Masters)
    Subjects: Q Science > QC Physics
    Divisions: Pasca Sarjana > Magister > Ilmu Fisika
    Depositing User: Adhika Pri Ardhana
    Date Deposited: 24 Mar 2017 19:14
    Last Modified: 24 Mar 2017 19:14
    URI: https://eprints.uns.ac.id/id/eprint/32337

    Actions (login required)

    View Item